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歐姆龍新型壓力傳感器檢測原理技術

文章來源: 東莞市潺林電子有限公司人氣:2396發表時間:2017-09-25 14:38:51

歐姆龍研發了一款新型壓力傳感器,壓力傳感器應用了歐姆龍核心技術之一的MEMS技術,實現了世界頂級水平的高精度和低電流消耗,其特點主要在于以下幾個方面:


2SMPP-02性能偏差小的MEMS壓力傳感器

1、超小型、低功耗的MEMS表壓傳感器

2、長6.1mm×寬4.7mm×高8.2mm的超小型。

3、比電容式壓力傳感器更優異的電氣特性。

4、測量壓力范圍為0~37kPa。
5、偏置電壓:-2.5±4mV
6、量程電壓:31.0±3.1mV

7、0.2mW的低功耗。

8、受溫度影響小。
9、量程電壓:±1.0 %F.S.

10、偏置電壓:±3.0%F.S.


 一、檢測原理:MEMS絕對壓力傳感器采用了針對血壓計中壓力傳感器研發的壓敏電阻方式。壓敏電阻方式,是使用了通過加載在電阻元件上的力度變化所產生的電阻變化即壓電效應,通過這一原理將壓力轉化為電流信號。 并且,為了測定大氣壓力變化,絕對壓力傳感器采用MEMS接合技術,將傳感器芯片的內部進行真空密封。因此,能夠感知與真空狀態相比較大氣壓力的數值,也就是絕對壓力值。

二、技術特長該傳感器,歐姆龍長年研發的各種技術功能集中在一個芯片中,包括半導體回路設計技術、CMOS工藝技術、MEMS技術、壓力傳感器、模擬增幅回路、數字處理回路、不揮發性存儲等。因此,實現了芯片的小型化、高機能化、耐噪性能的提升。 此外,該傳感器使用MEMS接合技術,可擴大傳感器芯片內部的真空室容量,將傳感器的輸入動態范圍最大化。從而實現高精度。


三、測定結果


結果能夠達到50cm的判別。


■傳感器外觀